北方华创申请启辉检测电路及半导体工艺设备专利，准确检测半导体工艺设备是否启辉成功_资讯

北方华创申请启辉检测电路及半导体工艺设备专利，准确检测半导体工艺设备是否启辉成功

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2026-05-27 22:54:27

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种启辉检测电路及半导体工艺设备”的专利，公开号CN122091458A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，本申请提供一种启辉检测电路及半导体工艺设备，应用于半导体工艺设备技术领域，电路包括电信号采集电路、峰值比较电路、均值比较电路以及控制器，电信号采集电路响应于射频馈入部向半导体工艺设备施加射频功率时产生的电磁场变化输出感应电信号，通过峰值比较电路对感应电信号与峰值电信号阈值的大小关系进行检测，通过均值比较电路对感应电信号与均值电信号阈值的大小关系进行检测，控制器只有在得到第一检测信号且第二检测信号在预设时长内持续存在的情况下，确定启辉成功，检测过程与启辉过程中感应电信号的变化贴合，且从峰值电信号以及均值电信号两个维度确定检测结果，准确检测半导体工艺设备是否启辉成功，提高半导体工艺设备可靠性。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1422次，财产线索方面有商标信息73条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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