邑文微电子申请静电吸盘解吸附装置专利,能够快速、可控、安全地泄放静电吸盘残留电荷
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2026-05-20 02:50:49
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国家知识产权局信息显示,无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司申请一项名为“一种静电吸盘的解吸附装置及方法、电子设备和存储介质”的专利,公开号CN122069987A,申请日期为2026年3月。

专利摘要显示,本发明公开了一种静电吸盘的解吸附装置及方法、电子设备和存储介质。静电吸盘的解吸附装置包括:控制器和辅助放电模块;辅助放电模块包括:依次连接的受控开关、隔直电容和可调阻尼电阻网络;受控开关与控制器以及静电吸盘连接,受控开关响应于控制器发送的驱动控制信号,在解吸附阶段接通或切断辅助泄放通路;隔直电容用于在工艺阶段阻断射频能量进入辅助泄放通路;可调阻尼电阻网络与射频匹配器的接地参考点连接,可调阻尼电阻网络用于控制隔直电容的放电速度,避免振荡;控制器用于在解吸附阶段控制受控开关导通或断开,并根据反馈信号优化放电参数,发送驱动控制信号并传输至受控开关。本发明能够快速、可控、安全地泄放静电吸盘残留电荷。

天眼查资料显示,无锡邑文微电子科技股份有限公司,成立于2011年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本36000万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡邑文微电子科技股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目162次,财产线索方面有商标信息22条,专利信息383条,此外企业还拥有行政许可42个。

江苏邑文微电子科技有限公司,成立于2018年,位于南通市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本3333.33万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏邑文微电子科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息233条,此外企业还拥有行政许可7个。

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来源:市场资讯

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