截至2026年5月13日 13:29，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨3.38%，成分股天岳先进上涨12.72%，晶升股份上涨11.26%，京仪装备上涨10.62%，雅克科技，华海诚科等个股跟涨。半导体设备ETF万家(159327)上涨3.05%， 冲击3连涨。拉长时间看，截至2026年5月12日，半导体设备ETF万家近1周累计上涨11.95%。

全球半导体设备市场景气度持续上行，SEMI预计其正增长将延续至2029年，核心驱动力来自先进制程需求、DRAM与HBM以及NAND。平安证券指出，AI竞赛已蔓延至整个半导体供应链，头部企业如NVIDIA抢先锁定CoWoS、先进制程晶圆代工及HBM等关键产能，倒逼上游设备厂商加速交付与技术适配；在此背景下，国内设备龙头在刻蚀、薄膜沉积、清洗等环节已实现批量导入主流产线，订单可见度显著提升。

2026年一季度，半导体设备行业投资性现金流大幅流出，反映企业正积极布局未来产能与技术研发。申万宏源研究强调，该领域经营现金流同比增长情况良好，印证其健康经营状态；随着国内存储及先进逻辑产线建设加速，设备厂商在手订单饱满，部分企业已启动新一轮扩产以匹配客户交付节奏，设备行业正处于“订单—产能—收入”正向循环强化期。

此外，长江存储IPO有望推进，且进程已进入关键阶段。根据截至2026年5月的最新公开资料，其母公司长江存储科技控股有限公司（简称“长存集团”）已完成股份制改造，并明确选择独立IPO路径。申万宏源研究强调，半导体设备板块经营现金流同比增长情况良好，反映其健康经营状态；尽管行业整体投资性现金流持续大幅流出，但该特征符合产业常识——设备企业正承担国际产业链转移重任，通过高强度研发投入与产能前置布局，夯实技术壁垒与客户粘性。当前设备企业普遍处于“以短期财务投入换取长期份额提升”的战略窗口期。

数据显示，截至2026年4月30日，中证半导体材料设备主题指数(931743)前十大权重股分别为中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科、中科飞测、沪硅产业、江丰电子、芯源微、南大光电，前十大权重股合计占比65.46%。

截至2026年5月8日，半导体设备ETF万家近1年夏普比率为2.14，排名可比基金1/5，同等风险下收益最高。

回撤方面，截至2026年5月12日，半导体设备ETF万家今年以来相对基准回撤0.25%。回撤后修复天数为35天，在可比基金中回撤后修复最快。

费率方面，半导体设备ETF万家管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。

万家中证半导体材料设备主题ETF(场内简称半导体设备ETF万家，159327)紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，具有高成长、高弹性的特征。场外投资者可通过万家中证半导体材料设备主题ETF发起式联接(A：023828；C：023829)把握投资机会。

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