国家知识产权局信息显示，西安博研微纳信息科技有限公司;苏州研材微纳科技有限公司;苏州美图半导体技术有限公司申请一项名为“柔性传感器的微凸点制备工艺、光刻模板位置检测装置及检测方法”的专利，公开号CN121985855A，申请日期为2026年2月。

专利摘要显示，本发明属于柔性传感器制造技术领域，涉及柔性传感器的微凸点制备工艺、用于该工艺的光刻模板位置检测装置及检测方法。制备工艺为，在硅片基底表面对应胶柱的位置成型凹槽，在柔性传感器的硅片基底表面旋涂光刻胶，凹槽内填充光刻胶；采用光刻模板对固化后的光刻胶进行光刻，光刻模板上设有与目标胶柱的位置对应的遮光区，曝光后进行显影处理，在硅片基底表面形成胶柱阵列；将硅片基底热回流，表面张力使胶柱阵列收缩成为胶球阵列，且胶球底部嵌入硅片基底的凹槽内；最好采用干法刻蚀工艺对胶球的左右两侧进行台阶刻蚀，再刻蚀凸点的球面形貌，获得微凸点。本申请可避免热回流时胶球向外塌陷，保证了后续球冠刻蚀工序中顺利成型微凸点。

天眼查资料显示，西安博研微纳信息科技有限公司，成立于2017年，位于西安市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，西安博研微纳信息科技有限公司参与招投标项目91次，财产线索方面有商标信息13条，专利信息8条，此外企业还拥有行政许可9个。

苏州研材微纳科技有限公司，成立于2015年，位于苏州市，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州研材微纳科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目115次，财产线索方面有商标信息17条，专利信息31条，此外企业还拥有行政许可2个。

苏州美图半导体技术有限公司，成立于2012年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本121.67万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州美图半导体技术有限公司参与招投标项目56次，财产线索方面有商标信息16条，专利信息73条，此外企业还拥有行政许可2个。

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来源：市场资讯