苏州博旭机械科技申请半导体尾气处理用水洗设备专利，减少半导体尾气中TCS与水反应产生的泡沫、粉尘等对设备的影响_资讯

苏州博旭机械科技申请半导体尾气处理用水洗设备专利，减少半导体尾气中TCS与水反应产生的泡沫、粉尘等对设备的影响

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2026-04-23 00:37:53

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国家知识产权局信息显示，苏州博旭机械科技有限公司申请一项名为“半导体尾气处理用水洗设备”的专利，公开号CN121819556A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体尾气处理技术领域，尤其是指半导体尾气处理用水洗设备，包括主体，主体的内部安装有水洗机构，主体的底部安装有排出泵，主体的底部安装有溢流管，主体的顶部安装有补水机构，主体包括外壳，外壳的内部固定连接有隔板，外壳与隔板之间形成进气腔、第一喷淋腔、第二喷淋腔、第三喷淋腔、存水腔、第四喷淋腔与排出腔，水洗机构包括循环泵，循环泵的输出端固定连接有出水管，出水管的顶部固定连接有喷淋管，喷淋管上安装有第一喷淋头、第二喷淋头、第三喷淋头、第四喷淋头。本发明，能够对半导体尾气进行处理，减少半导体尾气中TCS与水反应产生的泡沫、粉尘等对设备的影响。

天眼查资料显示，苏州博旭机械科技有限公司，成立于2016年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州博旭机械科技有限公司财产线索方面有商标信息2条，专利信息13条，此外企业还拥有行政许可5个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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