ASM申请用于电感耦合等离子体的改进点火专利，提高等离子体点火效率
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2026-04-07 23:38:05
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“用于电感耦合等离子体的改进点火”的专利，公开号CN121815528A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，在一个实施例中，本公开涉及一种用于产生电感耦合等离子体的系统。该系统包括介电管和感应线圈电路。感应线圈电路包括围绕介电管并且彼此串联连接的感应线圈。介入电容器可切换地耦合在感应线圈之间。控制电路配置成在确定等离子体将被点火时使介入电容器中的至少一个在等离子体的点火期间被切换出感应线圈电路。
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