国微光电取得光刻机晶圆台快速调平机构专利，确保晶圆实现高精度同步调平_资讯

国微光电取得光刻机晶圆台快速调平机构专利，确保晶圆实现高精度同步调平

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2026-04-07 14:33:21

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国家知识产权局信息显示，合肥市国微光电科技有限公司取得一项名为“一种光刻机晶圆台快速调平机构”的专利，授权公告号CN224096126U，申请日期为2025年6月。

专利摘要显示，本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，尤其是一种光刻机晶圆台快速调平机构，包括放置台；以及，支撑组件，包括有安装座；以及，调平组件，包括有驱动杆和安装在驱动杆顶部的伸缩杆；其中，伸缩杆可沿着驱动杆的径向进行伸缩，支撑组件还包括尺寸略大于安装座的底座，底座固定连接在安装座的底部，底座的外壁通过安装螺栓与外部设备连接，调平组件还包括多个固定连接在安装座顶壁的安装块，它可以通过多轴协同运动的调平组件，实时、动态地调整放置台的姿态，从而确保其上的晶圆实现高精度的同步调平，与此同时，通过支撑组件同步工作，有效吸收运动产生的反作用力并抑制振动，为整个调平过程和装置运行提供坚实、可靠的稳定性保障。

天眼查资料显示，合肥市国微光电科技有限公司，成立于2024年，位于合肥市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本630万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥市国微光电科技有限公司专利信息4条，此外企业还拥有行政许可1个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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