华宇同方申请用于分离电子级卤化物气体中微量卤素杂质的复合吸附材料专利,吸附后微量卤素的浓度为80ppbv符合电子特气要求
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2026-04-04 19:15:19
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国家知识产权局信息显示,山东华宇同方电子材料有限公司申请一项名为“一种用于分离电子级卤化物气体中微量卤素杂质的复合吸附材料及其制备方法和应用”的专利,公开号CN121775804A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明属于气体分离纯化技术领域,具体涉及一种用于分离电子级卤化物气体中微量卤素杂质的复合吸附材料及其制备方法和应用。制备方法为:先将锰盐与铜盐或锌盐配成浸渍液浸渍活性炭制得金属负载活性炭,再将正硅酸乙酯、偏铝酸钠、四丙基氢氧化铵与水混合后加入该金属负载活性炭制溶胶,经 120~260℃下制得 ZSM‑5@活性炭,即得用于分离电子级卤化物气体中微量卤素杂质的复合吸附材料。本发明复合吸附材料在常温常压条件下对含0.5%体积分数氯气和99.5%卤化物的混合气体表现出优异吸附选择性,氯气吸附容量约为1.82 mmol/g,而对卤化物的吸附量极低,约为0.02 mmol/g,选择性系数超过90倍,吸附后微量卤素的浓度为80ppbv,符合电子特气要求。

天眼查资料显示,山东华宇同方电子材料有限公司,成立于2022年,位于济宁市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本15180万人民币。通过天眼查大数据分析,山东华宇同方电子材料有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目23次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息27条,此外企业还拥有行政许可29个。

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来源:市场资讯

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