国家知识产权局信息显示,莫杜莱斯公司申请一项名为“PMUT传感器”的专利,公开号CN121794069A,申请日期为2024年9月。
专利摘要显示,本发明涉及一种PMUT换能器(100),包括:‑柔性膜(107),其悬挂在空腔(101)上方;‑压电材料层(301),其位于柔性膜的与空腔相对的面上;‑第一电极和第二电极(201A,201B),其插入在柔性膜和压电材料层之间;以及‑第三电极和第四电极(401B,401A),其设置在压电材料层的与柔性膜相对的一侧上,并且分别位于第一电极和第二电极(201A,201B)对面,其中,第一电极和第二电极(201A,201B)分别连接到第四电极和第三电极(401A,401B)。
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