华力集成取得晶圆传感器的保护装置专利,延长晶圆传感器的使用寿命
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2026-03-31 13:16:05
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国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司取得一项名为“晶圆传感器的保护装置”的专利,授权公告号CN224059536U,申请日期为2025年4月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种晶圆传感器的保护装置,包括:引流槽。晶圆传感器设置在工艺模块的外壁上,工艺模块呈箱体结构且顶部具有溢流边缘。引流槽设置在晶圆传感器的顶部表面和溢流边缘之间的外壁上,引流槽的出口和晶圆传感器之间具有间隔,晶圆传感器的周侧形成无溢流液体流动区。本实用新型能保护晶圆传感器并避免晶圆传感器受溢流影响,从而降低晶圆传感器的误报警概率并延长晶圆传感器的使用寿命。

天眼查资料显示,上海华力集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2076次,专利信息2747条,此外企业还拥有行政许可399个。

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来源:市场资讯

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