新凯来申请确定空间滤波器的布设位置的方法专利，提高了半导体检测设备的工作效率_资讯

新凯来申请确定空间滤波器的布设位置的方法专利，提高了半导体检测设备的工作效率

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2026-03-28 15:50:05

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国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“确定空间滤波器的布设位置的方法、光学系统及检测设备”的专利，公开号CN121739882A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本申请实施例提供一种确定空间滤波器的布设位置的方法、光学系统及检测设备，该方法应用于半导体检测设备，半导体检测设备用于对待测样品进行检测，半导体检测设备包括光学系统，光学系统包括检测光源和物镜，该方法包括：获取待测样品的结构周期以及光学系统的关键参数，其中，关键参数至少包括检测光源发出的检测光束的波长、检测光束入射至待测样品的角度以及物镜的焦距；基于结构周期和光学系统的关键参数，通过光学衍射理论计算物镜的傅里叶面上的各个衍射光的空间坐标；基于至少一个衍射光对应的空间坐标，确定空间滤波器的布设位置。该方法用以实现高效确定空间滤波器的位置，进而提高了半导体检测设备的工作效率。

天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目18次，财产线索方面有商标信息23条，专利信息241条，此外企业还拥有行政许可14个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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