深圳明锐仪器申请嵌入式相移镜及深紫外相移干涉测量系统专利，解决了深紫外波段长期存在的系统不稳定的难题_资讯

深圳明锐仪器申请嵌入式相移镜及深紫外相移干涉测量系统专利，解决了深紫外波段长期存在的系统不稳定的难题

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2026-03-26 16:36:17

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国家知识产权局信息显示，深圳明锐仪器有限公司申请一项名为“一种嵌入式相移镜、Mirau物镜及深紫外相移干涉测量系统”的专利，公开号CN121721836A，申请日期为2026年2月。

专利摘要显示，本发明涉及深紫外相移干涉测量技术领域，具体提供一种嵌入式相移镜、Mirau物镜及深紫外相移干涉测量系统，该系统包括光源、Mirau物镜和背照式探测器，采用嵌入式相移镜作为参考镜，嵌入式相移镜包括参考镜本体和致动器，深紫外相干光进入Mirau物镜后，被半透半反镜分束为参考光和探测光，参考光射向嵌入式相移镜后被再次反射向半透半反镜；探测光射向待测样品后被反射向半透半反镜，参考光和探测光形成干涉，采集获得干涉图像；通过改变嵌入式相移镜的轴向位置，获得多个干涉图像，并据此重构待测样品的三维高度分布。本发明系统性地设计了一套完整、可工程化实现的深紫外相移干涉测量系统，并解决了深紫外波段长期存在的系统不稳定的难题。

天眼查资料显示，深圳明锐仪器有限公司，成立于2017年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳明锐仪器有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，专利信息12条，此外企业还拥有行政许可6个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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