罗伯特·博世申请微机电传感器构件专利，以电容方式检测偏转电极的偏转_资讯

罗伯特·博世申请微机电传感器构件专利，以电容方式检测偏转电极的偏转

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2026-03-26 16:18:43

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国家知识产权局信息显示，罗伯特·博世有限公司申请一项名为“微机电传感器构件、微机电惯性传感器和用于制造微机电传感器构件的方法”的专利，公开号CN121721312A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明涉及一种微机电的传感器构件(1)，包括：具有基底表面(3)的基底(2)，基本上垂直于基底表面(3)可运动的偏转电极(4)，和分析评估电极(5)，用于以电容方式检测偏转电极(4)的偏转，其中，分析评估电极(5)具有基本上垂直于基底表面(3)定向的竖直的分析评估电极面(5a)，所述竖直的分析评估电极面至少区段地与所述偏转电极(4)的竖直的偏转电极面(4a)在所述竖直的偏转电极面(4a)和所述竖直的分析评估电极面(5a)之间形成竖直的电极间隙(6)的情况下平行地延伸。此外，本发明还涉及一种具有这种微机电的传感器构件(1)的微机电的惯性传感器(20)以及一种用于制造这种微机电的传感器构件(1)的方法。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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