安徽晶微取得清洗装置及芯片制备系统专利，将晶圆上的光刻胶清晰去除
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2026-03-23 19:32:01
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国家知识产权局信息显示，安徽晶微科技有限公司取得一项名为“清洗装置及芯片制备系统”的专利，授权公告号CN224020153U，申请日期为2025年4月。
专利摘要显示，本申请公开一种清洗装置，包括清洗箱、旋转机构、载台、喷淋机构以及进出气机构。旋转机构包括驱动组件及调节组件，驱动组件与调节组件连接；载台设置于清洗箱内，且与调节组件连接；调节组件能够调节载台相对水平方向的倾斜角度；喷淋机构包括供液组件及喷淋组件，喷淋组件设置于清洗箱内，且喷淋组件远离供液组件的一端延伸至载台的上方。采用上述的清洗装置，操作人员将待清洗晶圆放置在载台上，然后先通过进出气机构将清洗箱内的气体置换，随后根据需求调节载台的倾斜角度。接下来驱动组件驱动载台带动晶圆转动，同时喷淋组件朝载台上的晶圆喷射清洗液，从而将晶圆上的光刻胶清晰去除。本申请还公开一种芯片制备系统。
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来源：市场资讯
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