力合科技：自主研发LFGCMS-100环境空气挥发性有机物气相色谱-质谱连续监测系统，已应用于半导体车间空气监测
创始人
2026-03-20 00:23:40
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有投资者在互动平台向力合科技提问：“半导体制程节点向个位数纳米、甚至埃米级别迈进，晶圆上的电路结构愈发精细，对AMC的敏感度急剧提升，AMC监测已从半导体制造的‘辅助环节’升级为‘核心刚需’，成为保障先进制程稳定推进的关键支撑。请问公司在AMC监测领域如何开展业务，对该业务有重点研究发展吗？”
针对上述提问，力合科技回应称：“尊敬的投资者，您好！公司自主研发了LFGCMS-100环境空气挥发性有机物气相色谱-质谱连续监测系统，高度集成了VOCs在线富集、GC-MS+FID联用检测、气体发生器、配气仪等仪器和部件，通过创新设计、多平台软件协同工作，可连续监测100余种VOCs组分，实现空气中VOCs组分连续24h定性定量监测。系统目前已应用于半导体车间空气监测。感谢您的关注！”
来源：市场资讯
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