格力电子申请制备半导体监控片的控制方法专利，解决了不同批次的监控片反映半导体制造设备的温度均匀性差异较大的问题_资讯

格力电子申请制备半导体监控片的控制方法专利，解决了不同批次的监控片反映半导体制造设备的温度均匀性差异较大的问题

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2026-03-18 04:10:12

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国家知识产权局信息显示，珠海格力电子元器件有限公司申请一项名为“制备半导体监控片的控制方法、装置、存储介质和电子设备”的专利，公开号CN121693102A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本申请提供了一种制备半导体监控片的控制方法、装置、存储介质和电子设备，方法，包括：根据多个测试晶圆的基本参数，构建掺杂剂量计算模型，基本参数包括以下之一：测试晶圆第一组电性参数和第二组电性参数，最终方阻为在测试晶圆中注入剂量的离子之后测试晶圆的方阻，基本参数与测试晶圆的种类具有预设关系；根据目标晶圆和掺杂剂量计算模型，确定目标晶圆的目标注入剂量；根据目标注入剂量对目标晶圆进行离子注入，并判断离子注入后的目标晶圆的目标最终方阻是否满足预设最终方阻范围，在目标最终方阻满足预设最终方阻范围的情况下，将目标晶圆确定为监控片，解决了不同批次的监控片反映半导体制造设备的温度均匀性差异较大的问题。

天眼查资料显示，珠海格力电子元器件有限公司，成立于2022年，位于珠海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析，珠海格力电子元器件有限公司参与招投标项目31次，专利信息233条，此外企业还拥有行政许可107个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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