截至2026年3月16日14点45分，科创半导体ETF（588170）上涨1.72%，半导体设备ETF华夏（562590）上涨1.12%。

热门个股方面，艾森股份上涨8.10%，金宏气体上涨6.43%，华峰测控上涨5.80%，和林微纳，神工股份等个股跟涨。

流动性方面，科创半导体ETF盘中换手7.74%，成交6.46亿元；半导体设备ETF华夏盘中换手3.78%，成交1.01亿元。

规模方面，科创半导体ETF近3月规模增长47.43亿元，实现显著增长，新增规模领先同类；半导体设备ETF华夏近2周规模增长7271.07万元，实现显著增长。

资金流入方面，科创半导体ETF近3天获得连续资金净流入，最高单日获得6033.73万元净流入，合计“吸金”1.26亿元，日均净流入达4216.05万元；半导体设备ETF华夏近9天获得连续资金净流入，最高单日获得1.27亿元净流入，合计“吸金”3.26亿元，日均净流入达3620.75万元。

消息面上，有报道称，华虹在先进芯片制造技术上取得新突破，旗下的晶圆代工厂华力微电子正在推进最新的纳米级先进制程的量产准备。一旦实现规模化生产，这将使其成为国内少数具备该级别工艺能力的芯片制造商之一。

国泰海通证券认为，与逻辑芯片相比，国内外在存储芯片上的代际差距更小。AI发展引发全球存储“大通胀”，对处于爬坡期的国产存储企业而言，改善了现金流、缩短了折旧回收周期，盈利的改善和股价的提升有利于其借助资本市场完成产能扩张，利好国内封测、设备等产业链，助力国产替代进程加速。

相关ETF：科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。

每日经济新闻