卡尔蔡司显微镜申请电子束显微镜专利，使得在物体（19）处产生的电子（45）入射在闪烁体本体（61）上_资讯

卡尔蔡司显微镜申请电子束显微镜专利，使得在物体（19）处产生的电子（45）入射在闪烁体本体（61）上

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2026-03-13 01:20:31

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国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司显微镜有限责任公司申请一项名为“电子束显微镜”的专利，公开号CN121641788A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本公开提供了一种电子束显微镜（1），其包括电子束源（3）、物体固持器（21）、磁性物镜（23）和第一电子检测器（41），该电子束源用于产生电子束（9）。电子检测器（41）包括闪烁体布置（60），该闪烁体布置具有闪烁体本体（61），该闪烁体本体沿着对称轴线（29）布置在物镜（23）的螺线管（31）的面向电子束源（3）的边缘与物平面（25）之间，使得在物体（19）处产生的电子（45）入射在闪烁体本体（61）上。闪烁体本体（61）由从入射电子（45）产生光65）的闪烁体材料形成。电子检测器（41）还包括光检测器（63），以便检测由闪烁体本体（61）产生的光（65）。光检测器63）沿着对称轴线（29）布置在闪烁体本体（61）与物平面25）之间。

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来源：市场资讯

投资物体显微镜电子束产生的卡尔蔡司本体检测器包括专利电子检测器闪烁体束源

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