漠润申请具有均匀导热结构的半导体工艺加热器专利,有效解决了半导体基板加热均匀性问题
创始人
2026-03-08 01:16:15
0

国家知识产权局信息显示,漠润(无锡)新材料有限公司;漠润(无锡)陶瓷材料有限公司申请一项名为“一种具有均匀导热结构的半导体工艺加热器”的专利,公开号CN121620129A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明涉及半导体制造设备技术领域,具体是一种具有均匀导热结构的半导体工艺加热器,包括设备机架、半导体基板、设备主机和基座模块。设备主机上设置有均匀加热器,其位于半导体基板下方并包含多个串联的加热单元,各单元设有单元基座和加热传感器。设备机架内设有内部支架,其上滑动安装有吊装框架,框架顶部安装有区域加热器,底部设有二级调节模块,模块上滑动安装有单点测温仪。基座模块包括基座中心轨和基座侧轨,中心轨设有基座驱动器,半导体基板滑动安装于基座模块上。本发明通过双层加热结构和移动测温系统,有效解决了半导体基板加热均匀性问题,显著提高了温度控制精度和工艺质量。

天眼查资料显示,漠润(无锡)新材料有限公司,成立于2023年,位于无锡市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本6000万人民币。通过天眼查大数据分析,漠润(无锡)新材料有限公司共对外投资了3家企业,专利信息4条。

漠润(无锡)陶瓷材料有限公司,成立于2024年,位于无锡市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,漠润(无锡)陶瓷材料有限公司参与招投标项目3次,专利信息8条,此外企业还拥有行政许可3个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

来源:市场资讯

相关内容

热门资讯

我国“人造太阳”取得关键突破 ... 央广网北京6月28日消息(记者朱敏 王利)据中央广播电视总台中国之声《新闻和报纸摘要》报道,27日,...
科技股的利好来了!高手看好太空... 周五,在日韩股市跳水的影响下,A股出现大幅回调,4600多只股票下跌,上涨股票仅700多只,不过商业...
停牌前股价大涨!688689,... 6月28日晚间,银河微电(688689)就收购恒泰柯半导体(上海)有限公司(简称“恒泰柯半导体”)事...
银河微电披露资产收购预案 拟全... 停牌半个多月后,国产半导体分立器件厂商银河微电(SH688689,停牌中)拟并购恒泰柯半导体(上海)...
上周半导体主题ETF净流入超2... 在近期震荡行情中,半导体板块表现颇为强势,多只半导体主题ETF场内价格创历史新高。Wind资讯显示,...
原创 尴... 前几天,很多与科技相关的媒体,都在报道称,IBM发布了全球首颗0.7nm芯片。 与IBM上一代发布的...
芯片只涨45美元,苹果反手加价... 曝美光CEO吐槽苹果涨价 @中新经纬:据英国《金融时报》27日报道,六位知情人士透露,为缓解内存芯片...
报道称苹果寻求获准从长鑫存储购... 钛媒体App 6月28日消息,据英国《金融时报》6月27日报道,六位知情人士透露,为缓解内存芯片涨价...
外媒:苹果因内存芯片短缺大幅提... 参考消息网6月28日报道据英国《金融时报》网站6月25日报道,苹果已将MacBook笔记本电脑和iP...