EV集团申请衬底键合方法、设备及传感器元件专利，确定传感器元件与表面之间的间距_资讯

EV集团申请衬底键合方法、设备及传感器元件专利，确定传感器元件与表面之间的间距

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2026-03-06 16:27:01

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国家知识产权局信息显示，EV 集团 E·索尔纳有限责任公司申请一项名为“用于将第一衬底与第二衬底键合的方法、用于键合的设备、用于这种设备的衬底保持器以及传感器元件”的专利，公开号CN121621046A，申请日期为2023年8月。

专利摘要显示，一种用于将第一衬底与第二衬底（10）键合的方法，其中第一衬底具有主部段，并且第二衬底（10）具有辅部段，其中在将第一衬底与第二衬底（10）键合时，在第一子部段与第二子部段之间形成沿着键合方向前进的键合波：‑‑在所述第一子部段中，第一衬底和第二衬底（10）连接，以及‑‑在所述第二子部段中，第一衬底和第二衬底（10）尚待连接，其中第二衬底（10）在第二子部段中的子区域相对于第二衬底（10）在第一子部段中的子区域在垂直于主延伸平面伸展的方向上高度错开，其中在键合之前和/或在键合期间，为了对象的状态确定，将光对准到对象的表面上并且反射，并且借助于用于确定传感器元件（15）与表面之间的间距的传感器元件（15）测量由表面反射的光，并且确定传感器元件（15）与表面之间的间距（a）。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

方法显示子部市场投资设备元件表面传感器专利键合衬底部段

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