FEI公司申请电子计数与能量增强衍射分析专利，鉴别样品的相特征
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2026-03-04 20:42:36
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国家知识产权局信息显示，FEI公司申请一项名为“电子计数与能量增强衍射分析”的专利，公开号CN121595612A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，电子计数与能量增强衍射分析。描述了一种用于鉴别样品的相特征的方法。该方法包括使用直接带电粒子检测器获取该样品的背散射电子数据。该直接带电粒子检测器包括像素阵列，并且被配置为在电子束入射到该样品上时，对该阵列的每个像素检测到的背散射电子的数量进行计数，或测量该阵列的每个像素检测到的每个背散射电子的能量。该背散射电子数据包括数据集，每个数据集包含当该电子束入射到该样品的相应区域上时，由该阵列的每个像素检测到的背散射电子的数量或测量能量。该方法进一步包括：为每个数据集测定相应统计电子特征或相应电子能谱，以及基于所测定的统计电子特征或所测定的电子能谱鉴别该样品的至少一些区域的相应相特征。还描述了一种用于鉴别样品的相特征的系统。
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