上海传芯半导体申请抛光液检测方法及抛光液检测系统专利，能够准确评估抛光质量_资讯

上海传芯半导体申请抛光液检测方法及抛光液检测系统专利，能够准确评估抛光质量

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2026-03-04 18:15:01

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国家知识产权局信息显示，上海传芯半导体有限公司申请一项名为“抛光液检测方法及抛光液检测系统”的专利，公开号CN121595622A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本发明提供一种抛光液检测方法及抛光液检测系统，该方法包括以下步骤：提供一基板，于基板表面涂覆抛光液；在预设温度下对基板进行干燥处理，在基板表面形成第一浆料膜；对第一浆料膜进行表面轮廓测量，得到第一浆料膜的表面轮廓信息，并对第一浆料膜的表面轮廓信息进行二维傅里叶变换分析；在第一浆料膜表面多次重复执行涂覆抛光液及干燥处理的步骤，在基板表面形成具有预设厚度的第二浆料膜；对第二浆料膜进行表面轮廓测量，得到第二浆料膜的表面轮廓信息并进行二维傅里叶变换分析；对第二浆料膜进行SEM检测和EDS/EDX材料分析。上述的抛光液检测方法能够准确评估抛光质量，有助于优化CMP工艺参数，提高抛光质量和生产效率。

天眼查资料显示，上海传芯半导体有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本9376.6144万人民币。通过天眼查大数据分析，上海传芯半导体有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目5次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息125条，此外企业还拥有行政许可17个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业进行投资检测抛光液系统表面导体评估专利轮廓基板浆料膜

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