辰显光电申请晶圆载台位置校正方法及晶圆载台专利，能够对晶圆载台坐标进行补偿_资讯

辰显光电申请晶圆载台位置校正方法及晶圆载台专利，能够对晶圆载台坐标进行补偿

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2026-03-03 22:44:49

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国家知识产权局信息显示，成都辰显光电有限公司申请一项名为“一种晶圆载台位置校正方法及晶圆载台”的专利，公开号CN121604773A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆载台位置校正方法及晶圆载台，涉及晶圆载具技术领域；校正方法包括以下步骤：在晶圆基板放置在载台本体上后，基于多个光电传感器的反馈信号，判断晶圆基板相对于光电传感器是否存在位置偏移；若晶圆基板的位置存在偏移，则驱动载台本体横向和/或纵向移动，使得晶圆基板位于多个光电传感器检测点所围成的定位区域内；基于载台本体横向和/或纵向移动的距离，对载台本体的坐标进行补偿以对晶圆基板位置进行校正；其中，多个光电传感器均安装在所述载台本体上，且多个光电传感器的检测点所围成的定位区域与晶圆基板的截面适配，能够对晶圆载台坐标进行补偿。晶圆载台用于实施前述的晶圆载台位置校正方法。

天眼查资料显示，成都辰显光电有限公司，成立于2020年，位于成都市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本129611.707249万人民币。通过天眼查大数据分析，成都辰显光电有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目613次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息971条，此外企业还拥有行政许可42个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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