国家知识产权局信息显示,深圳汇北川科技股份有限公司;港华能源创科(深圳)有限公司;清华大学深圳国际研究生院;卓度计量技术(深圳)有限公司申请一项名为“一种制备钯纳米膜氢气传感器的方法”的专利,公开号CN121575463A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种制备钯纳米膜氢气传感器的方法,属于传感器制备领域。一种制备钯纳米膜氢气传感器的方法,包括以下步骤:步骤一,铝片进行表面预处理;步骤二,对铝片进行电化学抛光;步骤三,对铝片进行一次氧化;步骤四,对铝片进行二次氧化,在其表面形成规整的多孔氧化铝层;步骤五,对多孔氧化铝层进行扩孔实验;步骤六,去除铝基底层和阻挡层并捞膜,其具体步骤为,步骤七,通过电子束蒸发设备镀膜;步骤八,进行微电极的制备,然后完成电气连接和封装;本发明不会因为基底限制和强烈晶格应力而脆化、开裂或者剥落,导致传感器快速老化和发生故障,简化了整个制备过程,降低了生产成本。
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来源:市场资讯