北方华创申请阀座组件以及半导体工艺设备专利，缩短了流道总长，降低了反应周期_资讯

北方华创申请阀座组件以及半导体工艺设备专利，缩短了流道总长，降低了反应周期

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2026-02-28 15:15:57

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“阀座组件以及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121576451A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本发明提供了一种阀座组件以及半导体工艺设备，阀座组件包括：基体，具有设置于基体的表面的进气口和出气口，以及设置于基体的内部的多个流道，进气口和出气口分别与不同的流道连通；阀体，与基体连接，用于导通或关断不同流道之间的连接，以在进气口和出气口之间导通供前驱体传输的传输通道，或关断相应前驱体的传输通道；其中，至少部分流道中设置至少两个子流道，子流道至少部分弯曲并相互交汇，形成交汇流道；交汇流道中设置有堵块，交汇流道远离子流道的一侧具有敞口，堵块封堵敞口。如此，通过将子流道部分弯曲并相互交汇，缩短了流道总长，降低了反应周期，且堵块设置在前驱体的流通路径上，避免形成死区。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1385次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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