伟测半导体申请晶圆测试装置及测试设备专利,提高检测准确率
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2026-02-27 13:12:55
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国家知识产权局信息显示,上海伟测半导体科技股份有限公司申请一项名为“晶圆测试装置及测试设备”的专利,公开号CN121578106A,申请日期为2026年1月。

专利摘要显示,本公开提供晶圆测试装置及测试设备,所述晶圆测试装置包括第一载体、第二载体和测试部。所述第一载体包括供承载并加热待测晶圆的承载部。所述第二载体,包括一保温部。所述测试部设于所述承载部和保温部上方;其中,所述第一载体和第二载体与所述测试部之间可相对移动地配合,以使所述测试部能在与所述承载部上待测晶圆对应的检测位置、以及与所述保温部对应的保温位置之间切换,并获得温度保持。所述测试设备包括所述晶圆测试装置。本公开通过设置的所述保温部,对未进行测试的测试探针进行保温,避免测试探针因温度降低而形变,从而可以直接对下一待测晶圆检测,既提高了检测效率,又可以避免影响检测结果的情况发生,提高检测准确率。

天眼查资料显示,上海伟测半导体科技股份有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本14894.3529万人民币。通过天眼查大数据分析,上海伟测半导体科技股份有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目6次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息71条,此外企业还拥有行政许可20个。

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来源:市场资讯

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