卓度计量申请MEMS热导式气体传感器及其制备方法专利，能够提升热导式气体传感器的检测灵敏度
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2026-02-27 13:11:17
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国家知识产权局信息显示，卓度计量技术（深圳）有限公司;港华能源创科（深圳）有限公司;深圳汇北川科技股份有限公司;清华大学深圳国际研究生院申请一项名为“一种MEMS热导式气体传感器及其制备方法”的专利，公开号CN121577698A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本申请提供了一种MEMS热导式气体传感器及其制备方法，包括自下而上依次设置的硅基结构层、第一氮化硅层、第一复合金属层和第二氮化硅层；其中，硅基结构层上设有贯通的热导空腔，用于容纳进行热交换的外界气体；热导空腔上方对应部分第一氮化硅层、第一复合金属层和第二氮化硅层组成悬空的氮化硅支撑梁，第一复合金属层中的金属加热电极位于氮化硅支撑梁内部的中间位置，用于与热导空腔内的外界气体进行热交换以检测目标待测气体的浓度。本申请能够提升热导式气体传感器的检测灵敏度，以及缩短响应时间。
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来源：市场资讯
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