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广州增芯申请MEMS红外热电堆传感器及其制备方法专利，提高红外器件的响应率

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2026-02-26 18:16:14

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国家知识产权局信息显示，广州增芯科技有限公司申请一项名为“一种MEMS红外热电堆传感器及其制备方法”的专利，公开号CN121553897A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，一种MEMS红外热电堆传感器及其制备方法，其中，由MEMS红外热电堆传感器的制备方法制备出的MEMS红外热电堆传感器包括：衬底，所述衬底包括相对的第一面和第二面，所述衬底内具有在所述第二面形成的空腔；支撑层；热电堆器件层，所述热电堆器件层位于所述支撑层的顶面；钝化层；二氧化硅气凝胶，所述二氧化硅气凝胶位于所述空腔内，所述二氧化硅气凝胶的导热系数低于空气的导热系数。本发明在成本低、与现行工艺兼容性好的基础上，提高红外器件的响应率。

天眼查资料显示，广州增芯科技有限公司，成立于2021年，位于广州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本727500万人民币。通过天眼查大数据分析，广州增芯科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目52次，财产线索方面有商标信息50条，专利信息224条，此外企业还拥有行政许可180个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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