宇电自动化申请基于多传感器的晶体生长炉温度控制系统专利,实现多参数联动调控
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2026-02-24 19:42:39
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国家知识产权局信息显示,厦门宇电自动化科技有限公司申请一项名为“一种基于多传感器的晶体生长炉温度控制系统”的专利,公开号CN121556126A,申请日期为2026年1月。

专利摘要显示,本发明涉及晶体生长控制技术领域,尤其涉及一种基于多传感器的晶体生长炉温度控制系统,该系统包括晶体单元、加热单元、搅拌单元、气体输送单元、提拉单元、温度采集单元、饱和核算单元、识别单元和分析单元;其中,晶体单元设有升华区和晶种区;温度采集单元通过多传感器检测温度分布与梯度;饱和核算单元与识别单元分别通过光学检测器计算溶液过饱和度和监测晶体轮廓特征;分析单元则根据轮廓特征确定生长速率,通过比对实际与预期生长曲线的重合度判断晶体质量,在不合格时智能诊断原因,针对杂质富集问题调节气相输送速率以改善搅拌,针对散热问题修正区域间温度比,实现多参数联动调控。

天眼查资料显示,厦门宇电自动化科技有限公司,成立于1998年,位于厦门市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本21600万人民币。通过天眼查大数据分析,厦门宇电自动化科技有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目118次,财产线索方面有商标信息21条,专利信息64条,此外企业还拥有行政许可17个。

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