华力集成申请金属栅制程中调节阈值电压方法专利，实现对阈值电压的调节
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2026-02-18 18:42:09
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国家知识产权局信息显示，上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“金属栅制程中调节阈值电压的方法”的专利，公开号CN121548088A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本申请提供一种金属栅制程中调节阈值电压的方法，包括：步骤一，提供一衬底，在衬底上依次形成第一TiN层和TiAl层；步骤二，使衬底离开真空环境，TiAl层与空气接触发生表面氧化；步骤三，在TiAl层上形成第二TiN层。在不改变TiAl层和TiN层的厚度的情况下，实现对阈值电压的调节。
天眼查资料显示，上海华力集成电路制造有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2095次，专利信息2708条，此外企业还拥有行政许可397个。
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来源：市场资讯
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