原创 自给率仅1%?光刻机,依然是中国芯片产业最短板
创始人
2026-02-18 10:14:49
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制造芯片是非常复杂的,整个过程中需要几百种设备,经历上千道工序,最后才能制造出一颗一颗的芯片来。

而这几百种设备,称之为半导体设备,比如光刻机、刻蚀机、离子注入机、CVD、ALD等等,均是其中的设备之一。

而在所有的设备中,光刻机是占比最重的设备之一,占到了所有设备成本的20%左右,而其工序时间则占到了30%以上。

同时光刻机又是技术含量最高的设备之一,光刻机的精度一定程度上就决定了芯片制造的精度。

但是这么一款重要的设备,全球几乎被荷兰的ASML垄断,它一家就拿走了70%以上的份额,特别是最顶级的EUV光刻机,被它100%垄断。

更重要的是,国内的光刻机技术相比于ASML,实在是落后太多了,按照大家公认的说法,落后至少是10年以上。

ASML已经到了EUV技术,而国内的还在DUV阶段,其公开的分辨率还在90nm,所以我们一直在从ASML大量进口光刻机。

2025年,我们就从ASML采购了660多亿元(约80亿欧元)的光刻机,占ASML所有销量的33%,全球排第一。

而从自给率来看,目前主要半导体设备中,光刻机应该是最低的。

如下图所示,这是主要类别的设备,其国外品牌,国产品牌,以及在2024年的国产化率,而2025年的数据未知,但和2024年相差不太大,特别是光刻机本来就没有突破,那么其比例就几乎可以照搬过来。

而芯片制造,其实是遵循木桶理论的,即其最终水平,取决于最短的那一块短板,目前光刻机是是我们最短的短板,那么我们的实际的自主芯片制造水平,就取决于光刻机的精度。

所以说,目前光刻机已经是当前中国芯片产业最短的短板了,如果光刻机不突破,那么被卡脖子是必然的,只有突破了光刻机,才能将整个自主芯片制造水平往前推进一大步,进而解决当前被卡脖子的问题。

不过,据专业人士的说法,虽然EUV还遥遥无期,但目前我们离浸润式DUV已经只有一步之遥远了,一旦突破,其芯片工艺,可以直达7nm甚至以下,那么就让我们期待一下,国产浸润式DUV什么时候出来了。

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