南京幻能电子科技申请光刻机专用防微震基座专利，具备显著防微震效果_资讯

南京幻能电子科技申请光刻机专用防微震基座专利，具备显著防微震效果

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2026-02-17 23:39:31

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国家知识产权局信息显示，南京幻能电子科技有限公司申请一项名为“一种光刻机专用防微震基座”的专利，公开号CN121541416A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明涉及光刻机基座技术领域，公开了一种光刻机专用防微震基座，包括：两个水泥基座，还包括：第一水泥壳，位于水泥基座一侧；第一隔离模块，位于第一水泥壳内；下面板，固定在第一水泥壳上方；加筋板件，固定在下面板上方，用于起到支撑的作用；上面板，固定在加筋板件上；本发明的光刻机防微震基座具备显著防微震效果：上面板与下面板通过垂直分布的加筋板件形成对称结构；加筋板件作为核心减震单元，其上开设的直角槽与锐角槽构成多级震动抑制系统，直角槽利用应力波反射原理改变震动波传导方向，迫使部分震动能量返回原传播介质；锐角槽基于应力波折射理论将震动波向多个方向折射散射，使震动能量向三维空间扩散衰减，形成宽频减震特性。

天眼查资料显示，南京幻能电子科技有限公司，成立于2018年，位于南京市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，南京幻能电子科技有限公司专利信息10条，此外企业还拥有行政许可6个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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