科卓半导体申请晶圆切割机自动锁紧运输装置专利，保障后续切割精度_资讯

科卓半导体申请晶圆切割机自动锁紧运输装置专利，保障后续切割精度

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2026-02-16 11:14:23

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国家知识产权局信息显示，广东科卓半导体设备有限公司申请一项名为“一种晶圆切割机的自动锁紧晶圆盘的运输装置”的专利，公开号CN121515340A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明涉及晶圆切割技术领域，具体涉及一种晶圆切割机的自动锁紧晶圆盘的运输装置，包括轨道以及沿Y轴方向滑动设于轨道的底座；所述底座设有支撑圆台；所述底座顶部在支撑圆台的外周设有锁紧环；所述锁紧环沿圆周方向设有多个锁紧座；所述底座在锁紧环的底部升降活动设有触发环；所述触发环在锁紧座的底部设有触发块；所述锁紧座设有驱动槽；所述锁紧座活动设有驱动杆；所述驱动杆伸缩活动设有驱动销；所述驱动销活动设于驱动槽；所述驱动杆靠近支撑圆台的一端伸缩活动设有顶杆。本发明通过圆周均匀分布的多个锁紧座与顶杆，利用驱动销沿驱动槽的有序滑动，实现多方向同步定心，消除人工摆放的位置偏差，保障后续切割精度。

天眼查资料显示，广东科卓半导体设备有限公司，成立于2016年，位于东莞市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1301.8884万人民币。通过天眼查大数据分析，广东科卓半导体设备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息75条，此外企业还拥有行政许可12个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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