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英杰电气获得发明专利授权：“带独立偏置电压的静电卡盘电源、吸附设备及控制方法”

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2026-02-14 03:42:58

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示英杰电气（300820）新获得一项发明专利授权，专利名为“带独立偏置电压的静电卡盘电源、吸附设备及控制方法”，专利申请号为CN202511660641.4，授权日为2026年2月13日。

专利摘要：本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及带独立偏置电压的静电卡盘电源、吸附设备及控制方法，电源包括：依次连接的直流高压模块和第一电源极性切换模块，第一电源极性切换模块输出用于吸附静电卡盘的双极性电压，还包括控制模块、偏置电压模块和第二电源极性切换模块，第二电源极性切换模块的输出端与直流高压模块电连接；偏置电压模块获取直流输入电压，并输出偏置电压到第二电源极性切换模块，第二电源极性切换模块在控制模块的控制下，切换偏置电压的极性并输出到直流高压模块，同时偏置电压也能够单独作为一个电压源输出。该偏置电压可以满足晶圆吸附过程中的动态调整需求，以及适用于需要单独使用偏置电压的应用场景。

今年以来英杰电气新获得专利授权3个，较去年同期增加了200%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了6987.6万元，同比增10.5%。

通过天眼查大数据分析，四川英杰电气股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目388次；财产线索方面有商标信息26条，专利信息299条，著作权信息25条；此外企业还拥有行政许可52个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。

切换独立电气电源吸附电压极性模块静电英杰卡盘

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