深圳清华大学研究院申请复合式电子检测器专利，实现一机两用提升电子束设备性能_资讯

深圳清华大学研究院申请复合式电子检测器专利，实现一机两用提升电子束设备性能

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2026-02-13 10:14:47

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国家知识产权局信息显示，深圳清华大学研究院;合肥国镜仪器科技有限公司申请一项名为“复合式电子检测器、电子检测设备及检测方法”的专利，公开号CN121506829A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本发明提供一种复合式电子检测器、电子检测设备及检测方法，属于电子显微成像技术领域，本发明的复合式电子检测器，通过设置钇铝石榴石晶体来对分割式硅二极管检测器进行部分覆盖的结构，无需任何检测体的物理更换，即可通过电子学方式选择读取不同区域的信号，从而在不同工作条件下调用最优的检测模式，既能在高加速电压条件下实现检测，又能在低加速电压条件下检测，实现了一机两用，极大地提升了电子束设备的性能和应用范围。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

方法显示市场投资电子设备条件下检测器两用专利电子束电压检测体电子学方式

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