中科艾尔申请半导体制造用超洁净减压阀专利,能够提高减压阀的洁净度、稳定性、可靠性
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2026-02-12 23:39:39
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国家知识产权局信息显示,中科艾尔(北京)科技有限公司申请一项名为“一种半导体制造用超洁净减压阀”的专利,公开号CN121497838A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明公开了一种半导体制造用超洁净减压阀,所述减压阀至少包括阀体和与阀体固定连接的后盖;所述后盖内设置有阀针、阀座、膜片下压块、膜片与膜片压块,所述膜片压块与膜片接触的一端开设有导孔,所述阀针远离阀体的一端依次穿过阀座、膜片下压块和膜片的中心孔后,容纳在导孔内;所述阀针设置有磁性结构,所述阀体和膜片压块中的至少一个设置有磁性结构,所述阀针与阀体磁性相斥和/或阀针与膜片压块磁性相吸。本发明利用磁性原理,通过采用可拆修的阀针和膜片压块的固定方式,能够提高减压阀的洁净度、稳定性、可靠性。

天眼查资料显示,中科艾尔(北京)科技有限公司,成立于2008年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本964.221927万人民币。通过天眼查大数据分析,中科艾尔(北京)科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目24次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息128条,此外企业还拥有行政许可4个。

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来源:市场资讯

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