海克斯康申请基于半导体加工设备的三坐标测量动作识别系统专利，形成完整的异常探测与诊断体系_资讯

海克斯康申请基于半导体加工设备的三坐标测量动作识别系统专利，形成完整的异常探测与诊断体系

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2026-02-12 13:20:47

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国家知识产权局信息显示，海克斯康制造智能技术（深圳）有限公司申请一项名为“一种基于半导体加工设备的三坐标测量动作识别系统”的专利，公开号CN121502625A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体加工技术领域，具体为一种基于半导体加工设备的三坐标测量动作识别系统。包括运动数据采集模块、异常测量动作识别模块、探测动作生成模块、主动探测模块和异常特征对比模块。系统通过运动特征相关性分析判定单轴异常或耦合异常，针对高频次异常生成包含单轴探测路径和多轴联动探测路径的探测序列，在设备空闲时段主动执行。通过对比单轴与多轴联动探测的运动特征差异判定故障来源，通过空载与载荷状态特征对比及载荷组间差异度梯度区分异常来源，并基于时域‑频域‑时序形态多维特征指纹库实现故障类型识别，形成完整的异常探测与诊断体系。

天眼查资料显示，海克斯康制造智能技术（深圳）有限公司，成立于2024年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本10000万欧元。通过天眼查大数据分析，海克斯康制造智能技术（深圳）有限公司参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息62条，此外企业还拥有行政许可8个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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