光微半导体申请光纤MEMS超声传感器专利,能够有效提升MEMS超声传感器的灵敏度以实现微弱信号的检测
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2026-02-11 16:18:23
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国家知识产权局信息显示,江苏光微半导体有限公司;无锡科晟光子科技有限公司申请一项名为“光纤MEMS超声传感器、探头及超声波遥测仪”的专利,公开号CN121486739A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明涉及传感器技术领域,具体公开了一种光纤MEMS超声传感器、探头及超声波遥测仪,包括:硅基底支撑结构,悬臂梁组件以及超声振动膜片;悬臂梁组件环绕超声振动膜片设置,且与超声振动膜片连接;悬臂梁组件包括多个L型悬臂梁,每个L型悬臂梁的一端连接超声振动膜片,另一端连接硅基底支撑结构;超声振动膜片包括蜂窝网板和位于蜂窝网板内的蜂窝形状填充物;蜂窝网板的下表面设置第一反射层,硅基底支撑结构、悬臂梁组件以及超声振动膜片形成凹槽型结构,蜂窝网板的下表面为所述蜂窝网板朝向所述凹槽型结构的凹槽方向的表面。本发明提供的光纤MEMS超声传感器能够有效提升MEMS超声传感器的灵敏度以实现微弱信号的检测。

天眼查资料显示,江苏光微半导体有限公司,成立于2022年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏光微半导体有限公司共对外投资了3家企业,财产线索方面有商标信息1条,专利信息26条,此外企业还拥有行政许可6个。

无锡科晟光子科技有限公司,成立于2010年,位于无锡市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本8000万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡科晟光子科技有限公司参与招投标项目29次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息65条,此外企业还拥有行政许可9个。

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来源:市场资讯

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