埃特曼半导体申请外延片制备方法专利,提高了外延片的晶体质量
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2026-02-09 18:13:06
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国家知识产权局信息显示,埃特曼半导体技术有限公司;埃特曼(厦门)光电科技有限公司;迪希埃(北京)半导体技术有限公司申请一项名为“外延片的制备方法和外延片”的专利,公开号CN121472985A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本申请实施例涉及一种外延片的制备方法和外延片,制备方法包括:提供第一金属氮化物层,第一金属氮化物层的材料组分包括第一金属原子;执行分子束外延生长工艺,在第一生长条件下通入第二金属源,第二金属原子被吸附至第一金属氮化物层上,形成一层第二金属单原子层;在第二生长条件下通入第二金属源,第二金属原子被吸附至第二金属单原子层上,再形成一层第二金属单原子层;保持第二生长条件并保持通入第二金属源,通入氮源,氮原子与各第二金属单原子层结合,形成第二金属氮化物层;其中,第一金属原子与第二金属原子不同,第一生长条件与第二生长条件不同。由此,提高了外延片的晶体质量。

天眼查资料显示,埃特曼半导体技术有限公司,成立于2020年,位于厦门市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本5199.4469万人民币。通过天眼查大数据分析,埃特曼半导体技术有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目11次,财产线索方面有商标信息21条,专利信息41条,此外企业还拥有行政许可9个。

埃特曼(厦门)光电科技有限公司,成立于2021年,位于厦门市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析,埃特曼(厦门)光电科技有限公司参与招投标项目8次,专利信息32条,此外企业还拥有行政许可7个。

迪希埃(北京)半导体技术有限公司,成立于2020年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,迪希埃(北京)半导体技术有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目1次,专利信息18条,此外企业还拥有行政许可2个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

来源:市场资讯

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