楚赟精工科技申请设有旋转装置的半导体生长设备专利，能够提升衬底载体表面温度均匀性_资讯

楚赟精工科技申请设有旋转装置的半导体生长设备专利，能够提升衬底载体表面温度均匀性

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2026-02-07 16:15:02

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国家知识产权局信息显示，楚赟精工科技（上海）有限公司申请一项名为“设有旋转装置的半导体生长设备”的专利，公开号CN121472825A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，本发明涉及一种设有旋转装置的半导体生长设备，包括：衬底载体，底面中部设有槽结构；转轴；旋转驱动装置，设于所述转轴以驱动所述转轴转动；所述转轴顶部包括转轴凸起段和围设于所述转轴凸起段底部的转轴延长段；所述转轴凸起段与所述槽结构相适配以在所述旋转驱动装置驱动下带动所述衬底载体转动；所述转轴延长段位于所述衬底载体底面下方，沿所述衬底载体径向延伸；轴加热装置，设于所述转轴内，包括轴加热元件，所述轴加热元件位于所述转轴凸起段表面和所述转轴延长段表面所围结构内；外部供电装置，通过所述转轴电连接所述轴加热装置以对所述轴加热元件供能。本发明能够能够提升衬底载体表面温度均匀性。

天眼查资料显示，楚赟精工科技（上海）有限公司，成立于2014年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本30000万人民币。通过天眼查大数据分析，楚赟精工科技（上海）有限公司参与招投标项目41次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息94条，此外企业还拥有行政许可1个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

显示投资半导体精工科技载体楚赟装置设备转轴专利衬底表面

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