科讯工业申请用于半导体CMP设备的研磨液隔膜阀专利，防止研磨液结晶_资讯

科讯工业申请用于半导体CMP设备的研磨液隔膜阀专利，防止研磨液结晶

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2026-02-07 15:15:51

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国家知识产权局信息显示，科讯工业制造（深圳）有限公司申请一项名为“一种用于半导体CMP设备的研磨液隔膜阀及其组装方法”的专利，公开号CN121474372A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，本发明涉及隔膜阀技术领域，提出一种用于半导体CMP设备的研磨液隔膜阀及其组装方法。该隔膜阀包括在内部设有3°至10°倾斜环形阶面的阀座、耐磨隔膜片以及调节组件，耐磨隔膜片具有橡胶主体、PTFE耐磨层及带限位部预埋螺纹件，调节组件包含调节杆、隔膜连轴压块、手轮及可移动限位调节螺母。本发明利用斜面接触实现非极限预压的静态密封，消除流道死区，防止研磨液结晶；通过PTFE耐磨层提升耐磨性；独特的限位调节螺母设计允许设定关闭行程或保留闭合间隙，实现全关与防结晶滴漏模式的灵活切换。本发明具有高洁净、长寿命及工艺适应性强的特点，适用于半导体精密流体控制。

天眼查资料显示，科讯工业制造（深圳）有限公司，成立于2005年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1117.3万人民币。通过天眼查大数据分析，科讯工业制造（深圳）有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目38次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息83条，此外企业还拥有行政许可13个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业制造显示投资设备隔膜导体结晶调节专利科讯半导体隔膜片隔膜阀研磨液

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