北方集成电路取得清洗干燥装置专利,避免晶圆表面缺陷
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2026-02-06 11:14:27
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国家知识产权局信息显示,北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司取得一项名为“一种清洗干燥装置”的专利,授权公告号CN223885612U,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,本申请提供一种清洗干燥装置,包括:干燥腔;清洗槽,位于所述干燥腔内,用于盛放清洗液;升降装置,位于所述干燥腔内,所述升降装置包括:支架,所述支架与第一升降电机连接,被配置为在所述第一升降电机的带动下向进入或远离所述清洗槽方向运动;第一承托部,所述第一承托部与所述支架连接,用于承托待清洗件;以及第二承托部,所述第二承托部通过相对所述第一承托部升降与所述第一承托部交替承托所述待清洗件。本申请提供的清洗干燥装置可以避免在干燥晶圆的过程中,晶圆与升降装置之间的接触点干燥不完全导致的晶圆表面缺陷。

天眼查资料显示,北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司,成立于2017年,位于北京市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析,北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目22次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息539条,此外企业还拥有行政许可125个。

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来源:市场资讯

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