北方华创申请异常检测方法专利，及时快速发现半导体制备异常_资讯

北方华创申请异常检测方法专利，及时快速发现半导体制备异常

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2026-02-05 15:15:49

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“异常检测方法、半导体检测设备及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121463745A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本申请涉及一种异常检测方法、半导体检测设备及半导体工艺设备，异常检测方法包括：响应于针对目标设备模块对应的工艺文件的检测指令，解析工艺文件包括的目标信息；目标信息包括处理对象在目标设备模块中的滞留时长；基于目标信息和预设滞留阈值，确定目标设备模块是否存在滞留异常。如此，可以在半导体工艺制程中，及时、快速发现可能存在的制备异常情况和异常发生的位置，相较于人工查验，大大节省了检测时间，提高了检测效率和检测准确率，为提高产品质量和产品制备效率提供了保障。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1365次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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