富芯微电子申请用于碳化硅晶片的抛光设备专利，大幅提升单位时间产能_资讯

富芯微电子申请用于碳化硅晶片的抛光设备专利，大幅提升单位时间产能

创始人

2026-02-04 23:16:37

0次

国家知识产权局信息显示，富芯微电子有限公司申请一项名为“一种用于碳化硅晶片的抛光设备”的专利，公开号CN121447522A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种用于碳化硅晶片的抛光设备，涉及晶片抛光装置的技术领域，包括工作台和转动架，所述转动架与工作台旋转配合连接，所述工作台的顶部设置有呈环形阵列分布的上料工位、抛光工位、清洁工位和下料工位，且所述抛光工位和清洁工位均设置有两组，分别为粗抛工位、精抛工位、第一清洗工位和第二清洗工位，所述转动架的侧部设置有晶片夹持机构，所述晶片夹持机构设置有多组。通过转动架带动晶片夹持机构快速切换工位，无需额外的转运装置，缩短了工位间的流转时间；多组晶片夹持机构与对应工位适配，可实现多片晶片并行加工，即一片晶片进行粗抛时，另一片可同步进行精抛或清洗，大幅提升单位时间产能，适配批量生产需求。

天眼查资料显示，富芯微电子有限公司，成立于2015年，位于合肥市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析，富芯微电子有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息17条，专利信息118条，此外企业还拥有行政许可17个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业大幅提升单位抛光工位投资设备微电子碳化硅专利工作台硅晶片富芯晶片

上一篇：南通市通用电子配件厂申请环保型电容器引脚焊接设备专利，有效保障电容器后续的焊接质量

下一篇：知名芯片公司，紧急辟谣！

富芯微电子申请用于碳化硅晶片的抛光设备专利，大幅提升单位时间产能

相关内容

热门资讯