上海升翕光电申请沉积速率控制方法专利，解决沉积速率不稳定引发缺陷增多的问题_资讯

上海升翕光电申请沉积速率控制方法专利，解决沉积速率不稳定引发缺陷增多的问题

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2026-02-04 18:43:55

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国家知识产权局信息显示，上海升翕光电科技有限公司申请一项名为“沉积速率控制方法、设备、存储介质及程序产品”的专利，公开号CN121451138A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，本申请实施例提供一种沉积速率控制方法、设备、存储介质及程序产品。属于半导体器件技术领域。该方法包括：周期性获取沉积速率，所述沉积速率与数据采集时刻对应；根据所述数据采集时刻对应的沉积速率，确定所述数据采集时刻对应的沉积速率变化率；根据所述数据采集时刻对应的沉积速率及所述沉积速率变化率，判断是否增加功率阈值；若判断增加功率阈值，则提高功率输出最小值及功率输出最大值；采用大于所述功率输出最小值，且小于所述功率输出最大值的输出功率进行发光层沉积。该方法解决了动态调整功率输出时功率的调整范围较大，导致沉积速率不稳定，引发缺陷增多的问题。

天眼查资料显示，上海升翕光电科技有限公司，成立于2015年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本13015万人民币。通过天眼查大数据分析，上海升翕光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目26次，专利信息98条，此外企业还拥有行政许可8个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业方法功率缺陷投资控制上海输出速率专利天眼变化率

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