其芒光电申请基于恒功率温度调控的蒸镀方法专利，显著改善薄膜的附着力、结晶性、应力及成分均匀性_资讯

其芒光电申请基于恒功率温度调控的蒸镀方法专利，显著改善薄膜的附着力、结晶性、应力及成分均匀性

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2026-02-04 18:16:05

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国家知识产权局信息显示，安徽其芒光电科技有限公司申请一项名为“一种基于恒功率温度调控的蒸镀方法和装置”的专利，公开号CN121428506A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本发明提供一种基于恒功率温度调控的蒸镀方法和装置，通过采用恒功率加热与冷却水调节相结合的智能补偿策略，有效克服了蒸镀过程中因材料汽化吸热和蒸发源辐射热引起的热扰动，实现了基片温度的高精度控制，显著优于传统PID控制方法。该方法有效避免了温度超调与振荡现象，提升了系统稳定性和工艺重复性，同时结构简单、成本低廉，无需改造复杂硬件，易于在现有设备上推广应用。尤其适用于多层膜镀制工艺，能够利用镀膜间隙实现温度自适应恢复，增强工艺适应性，最终显著改善薄膜的附着力、结晶性、应力及成分均匀性，提高产品良率和性能一致性，具有重要的工业应用价值。

天眼查资料显示，安徽其芒光电科技有限公司，成立于2021年，位于合肥市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1844.5867万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽其芒光电科技有限公司参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息33条，此外企业还拥有行政许可3个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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