ASML申请光刻设备均一性传感器专利，确定辐射束的性质
创始人
2026-02-04 15:41:41
0次
国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“光刻设备、在所述光刻设备中使用的具有多个感测元件的均一性传感器、确定辐射束的性质的方法、以及确定用于光刻系统的光学元件的校准的方法”的专利，公开号CN121464401A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本文中描述一种确定光刻系统内的辐射束的性质的方法。所述方法包括针对所述辐射束的在第一方向上具有不同位置的多个区段中的每个区段来测量多个强度。使用传感器的多个感测元件中的不同的一个感测元件来测量所述多个强度中的每个强度。所述多个强度中的每个强度对应于所述辐射束的在第二方向上具有不同位置的多个部分中的不同的一个部分。所述辐射束的所述多个部分对应于所述辐射束的整个区段。所述方法还包括针对所述辐射束的所述多个区段中的至少一个区段，使用所测量的多个强度中的至少一个强度来确定所述辐射束的性质。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
下一篇：水晶光电：公司暂未涉足上述领域
相关内容
热门资讯
微科电源取得基于供电前馈与电子...
国家知识产权局信息显示，深圳市微科电源系统有限公司取得一项名为“一种基于供电前馈与电子阻尼的开关驱动...
股市必读：华虹宏力新发布《华虹...
截至2026年9月11日收盘，华虹宏力(688347)报收于219.07元，下跌2.25%，换手率3...
扬州鼎锋旗下基金完成备案，投资...
近日，扬州鼎锋引领股权投资合伙企业(有限合伙)完成中国证券投资基金业协会备案，正式进入投资运作阶段。...
深夜，全线跳水！AI芯片，重大...
芯片股集体杀跌！ 北京时间13日晚间，芯片股在暗盘交易中集体大跳水，SK海力士跌超4%，英特尔跌近4...
股市必读：深南电路新发布《北京...
截至2026年9月11日收盘，深南电路(002916)报收于396.68元，上涨1.11%，换手率1...
股市必读：中瓷电子（00303...
截至2026年9月11日收盘，中瓷电子(003031)报收于118.06元，下跌1.71%，换手率2...
Anthropic对人工智能的...
9月13日，市场观察人士指出，人工智能高管们呼吁放缓技术发展的言论，短期内可能会对芯片制造商及供应链...
并入光洋股份版图：PCB利基龙...
恰逢近期光洋股份（002708.SZ）完成对常熟东南相互电子有限公司100%股权收购的工商变更登记，...
两大PCB牛股澄清：传闻不实
9月13日晚，两只PCB（印制电路板）大牛股金安国纪、超声电子发布股票交易异常波动公告称，未向英伟达...
《星星说》下周引言（9.14—...
作者：王祯的幻世界 下周引言： 上周我们说要注意情感关系的稳定性，放下猜忌，打开心扉好好沟通，尽量...