证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“改善HCI效应的半导体结构及其制作方法”,专利申请号为CN202511598774.3,授权日为2026年2月3日。
专利摘要:本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种改善HCI效应的半导体结构及其制作方法,该方法包括:提供基底,包括依次叠置的半导体衬底、衬底氧化层和硬掩膜层;半导体衬底中形成有与栅极位置相对应的浅沟槽;刻蚀去除衬底氧化层靠近浅沟槽一侧的端部,刻蚀后衬底氧化层靠近浅沟槽一侧的侧面内缩形成凹坑,凹坑开口与硬掩膜层表面相交;填充浅沟槽得到隔离层,衬底氧化层和隔离层于凹坑位置合围形成孔洞;去除硬掩膜层,在孔洞与硬掩膜层相交位置形成缺口,通过缺口使得孔洞与外部环境连通;在衬底氧化层表面沉积形成栅极材料层,沉积时栅极材料沿缺口进入孔洞,填充形成控制栅极体。其制备流程简单,能够改善器件的热载流子效应,延长器件寿命。
今年以来晶合集成新获得专利授权47个,较去年同期增加了291.67%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了6.95亿元,同比增13.13%。
通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目636次;财产线索方面有商标信息75条,专利信息1599条,著作权信息9条;此外企业还拥有行政许可22个。
数据来源:天眼查APP
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