力合科技：LFGCMS-100系统应用于半导体车间空气监测
创始人
2026-02-03 15:42:49
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证券之星消息，力合科技(300800)02月02日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。
投资者提问：参观中芯国际的半导体制造生产车间，了解到力合科技的GC-MS设备已应用于半导体洁净车间的空气监测，力合科技何时拥有相关半导体洁净车间的技术能力？
力合科技回复：尊敬的投资者，您好！公司自主研发的LFGCMS-100环境空气挥发性有机物气相色谱-质谱连续监测系统，高度集成了VOCs在线富集、GC-MS+FID联用检测、气体发生器、配气仪等仪器和部件，通过创新设计、多平台软件协同工作，可连续监测100余种VOCs组分（包括PAMS57项、TO-15、醛酮类等），实现空气中VOCs组分连续24h定性定量监测。系统目前已应用于半导体车间空气监测。感谢您的关注！
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