国家知识产权局信息显示,光子芯谷科技(无锡)有限公司申请一项名为“控温单元、控温阵列及气体传感器”的专利,公开号CN121410064A,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种控温单元、控温阵列及气体传感器。所述控温单元包括:第一薄膜场效应晶体管及加热电阻,所述第一薄膜场效应晶体管的第一栅极与所述第一薄膜场效应晶体管的第一源极、第一漏极相应设置;所述加热电阻与所述第一源极或所述第一漏极相串联;所述第一栅极用于接通驱动电压,所述第一源极用于接入加热电压,所述第一源极、所述加热电阻、所述第一漏极能够形成回路。通过将驱动电压接入第一栅极,从而加热电阻、第一源极、第一漏极之间形成回路,加热电阻能够产生热量,实现对周围环境的加热,能够为气体传感器芯片提供合适的测量温度。控温单元线路结构简单,也便于采用半导体工艺制造,工艺简单、便于生产。
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